국내 최초 반도체용 MFC 개발한 '엠케이프리시젼', 향후 계획은?

2017년 PS-MFC 출시 목표로 개발 진행 중

MFC(질량유량제어기)는 가스의 유량을 측정해 사용자가 원하는 유량이 흐르도록 제어하는 장치로 각종 가스를 사용하고 있는 작업장에서는 필수적이지만, 최근까지 수입에만 전량 의존해왔다.

MFC를 순수 국내기술로 개발해 100% 국산화 및 양산에 성공한 업체는 ‘엠케이프리시젼㈜’로 해당 업체는 수입대체효과 및 기술축적에 이바지하고 있다.

엠케이프리시젼㈜는 2008년에 국내 최초로 반도체용 MFC 개발에 성공해 삼성전자에 납품을 시작했다. 이어 2010년도에는 삼성전자 Common Spec. 에 등록돼 Etch, CVD등 주요 반도체 제조 공정에 MFC를 공급하고 있으며, 주요 반도체 장비회사에서 사용하고 있다.

또한, 정부 지원을 받아 PI-MFC (Pressure - Insensitive Mass Flow Controller)를 독자적으로 개발했고, 이 역시 삼성 Common Spec에 등록, 관련 장비업체에 납품하고 있다.

국내에서 MFC를 생산하는 업체 중 반도체 공정에 사용 가능한 반도체용 MFC를 제조하는 업체는 엠케이프리시젼㈜뿐이다. 또한, 해당 업체는 반도체용 PI-MFC를 생산하는 국내 유일 업체이다.

이를 바탕으로 엠케이프리시젼㈜이 반도체용 MFC를 본격적으로 납품하기 시작한 2011년부터는 점차 매출이 증대됐으며, 2014년에 89.8%의 매출 신장률을 기록하기도 했다.

엠케이프리시젼㈜ 민병광 대표이사는 “현재 우리 회사는 축적된 질량유량센서와 내부식성 핵심부품 가공기술, 정밀 질량유량 교정 및 Leak Detection 기술을 바탕으로 압력식 질량유량제어기(Pressure Sensor Mass Flow Controller, PS-MFC)를 개발 중”이라며 “현재 우리나라는 PS-MFC를 전량 수입에 의존하고 있는데, 2017년부터는 국내기술로 제조한 PS-MFC를 만나볼 수 있도록 하겠다”라고 밝혔다.

이어 “늘어나는 MFC 수요에 부응하고, MFC 제조기술 및 품질향상을 위해 연구개발인력을 충원하는 등 세계적인 질량유량제어 기업으로 거듭나기 위해 더 노력할 것”이라 전했다.

엠케이프리시젼㈜에 대한 더 자세한 정보는 해당 홈페이지를 통해 확인할 수 있다.