<제7회 벤처기업상> 본사-KTB 공동제정..우수상

아펙스가 개발한 국산 반도체제조장비. 아펙스(대표 김상호.36)는 반도체제조공정중 열처리 박막증착장비를개발,창업2년6개월만에 반도체제조공정 생산라인의 국산화율을 30%까지끌어올린 기업이다. 이회사가 개발한 장비는 주변장치가 아닌 웨이퍼가공장치로반도체제조공정의 핵심을 이루는 기기들이다. 열처리공정을 대기압상태가아닌 20기압의 조건하에서 할 수 있도록 만든 하이팍스는 아펙스가국산화한 대표적 장비이다. 열처리공정시간을 20분의 1로 단축하는 한편불순물제거능력도 뛰어난 것으로 평가받고 있는 이장비는 세계에서 2번째로이회사가 생산에 성공했다. 반도체공정중 재료및 가공조건에 따라 변하는 온도 유압 시간등을자동으로 조절하는 컨트롤러도 개발했다. 컨트롤러는 정밀한 가공환경을필요로 하는 반도체제조공정에서 가장 중요한 위치를 차지하는 것으로선진국들이 판매를 꺼리는 장비이다. 아펙스는 자체개발한 실리콘 웨이퍼의 급속 가열및 냉각에 필요한RTP,실리콘웨이퍼에 고온에서 산화막을 형성하는 디퓨전장치등을컨트롤러에 연결해 사용하는 국산반도체제조시스템을 구축하고 있다.이밖에 상공자원부 체신부등으로 부터 수탁받은 과제 4건을 개발중이며LCD(액정표시장치)를 연결해 대형 LCD를 만드는 프로젝트도 연구하고 있다. 아펙스는 지난 91년1월 한국전자통신연구소연구원 창업기업 1호로세워졌다. 기술개발로 반도체제조장비를 국산화하겠다는 뜻을 가진 젊은엔지니어들이 모여만든 모험기업이다. 연구소에 근무하던 김사장이총자본금 4억원중 35%를 출자하고 나머지는 연구원들의 주식공모등을 통해설립됐다. 아페스의 종업원은 모두 63명이다. 이중 58명이 엔지니어이다. 37명은전자통신연구소 주문형반도체생산센터로 출근한다. 이들은 연구소와공동으로 센터내 생산공정관리파트를 담당하고 있다. 다른 기술자들은1백여평남짓한 공장에서 제품을 생산한다. "반도체장비를 국산화하지 않고는 국내반도체산업의 미래를 장담할 수없습니다. 반도체를 생산하는 대기업들이 연구용목적이라도 국산장비를사용,반도체장비를 만드는 중소기업들을 도와줘야 할 것입니다" 김사장은 각종 첨단화된 제품일수록 특수화된 반도체를 요구하기 때문에이를 만들어낼 수 있는 장비가 반도체산업성장에 꼭 필요한 존재라고강조하며 대기업들이 이를 적극적으로 활용해줘야 할것이라고 말했다.