올 우수 정밀측정기술 삼성전자/대우조선서 선정...공진청

삼성전자의 반도체 제조과정에서 먼지를 찾아내는 표준물질 제조기술과 대우조선의 대형구조물 3차원 측정기술이 올해의 우수 정밀측정기술로 선정됐다. 25일 공업진흥청에따르면 삼성전자는 반도체의 제조과정에서 0.1(1백만분의 1m)정도의 미세한 먼지까지 찾아내는 첨단기술인 미립자(파티클)표준물질 제조기술을 개발했다. 삼성전자에서 이번에 자체 개발한 미립자 표준물질은 반도체 제조과정에서 반도체의 수율을 좌우하는 먼지의 성분을 구분하여 분포나 크기를 일정하게 하고 갯수까지도 자유자재로 통제할수있다. 대우조선에서 개발한 대형구조물 측정기술은 초대형원유 운반선의 제조에 있어 이물(배머리)과 고물의 곡선부분을 정확히 3차원으로 측정할수있는 기술이다. (한국경제신문 1994년 10월 26일자).