한국표준과학연구원, 이온주입 및 이온산란분석장치 개발

한국표준과학연구원이 반도체나 박막의 표면을 분석하는데 사용되는 이온주입및 이온산란분석장치를 개발했다. 26일 표준과학연구원은 표면분석연구실 문대원.김현경박사팀이 지난 88년부터 모두 8억5천만원을 들여 이온주입및 이온산란분석장치를 완성했다고 밝혔다. 이장치는 원자층을 식별할수 있을 정도의 분해능을 갖춰 반도체나 박막의 표면및 계면의 분석,극미량 불순물 분석을 위한 표준시료제작에 사용할수 있고 이온주입을 이용해 박막 신소재를 개발할수도 있다. 문박사팀이 개발한 이장비는 특히 중에너지의 가속이온이 고체표면에서 산란되는 과정에서 손실되는 에너지를 정밀하게 측정,표면이나 계면의 화학조성과 깊이분포,원자구조에 관해 원자층의 분해능으로 분석할수 있다. 문박사는 이 수준의 장비는 세계적으로도 5~6대가 운용되고 있다고 설명했다. 표준연구원은 이장비를 표면및 계면분석법의 개발및 표준화연구,표준시료 제작에 활용하는 한편 이온빔을 이용한 박막소재개발에도 적극 나설 계획이다. (한국경제신문 1995년 4월 27일자).