[신기술&신개발] (테크노 광장) '테스트 번인장비'..디아이

디아이(대표 박원호)가 반도체 메모리를 검사하면서 번인(burn-in)하는 30MHz급 양산용 테스트 번인장비(TBT)를 개발했다. 30MHz급 번인 장비는 기존 10MHz급 장비에 비해 검사속도 및 정밀도가 3배 이상 향상된 것으로 제품화되기는 이번이 세계 처음이다. 이 회사는 국내 반도체 업체와의 기술협력으로 2년간 모두 50억원의 연구비를 들여 순수 국산기술로 이 장비를 상용화했다고 30일 발표했다. TBT는 컴퓨터의 주 기억소자인 D램이 생산된 후 성능을 검사하면서 수명을 시험하는데 쓰이는 필수 장비로 반도체 생산량에 따라 소요 수량이 결정되고 있다. 기존 번인장비의 검사공정 작업률이 20~30%에 불과한데 비해 이번에 선보인 장비는 작업도를 70~80%까지 높일수 있다. 특히 기존 장비와는 달리 램버스 D램, DDR D램, SL D램등 차세대 메모리 소자의 번인시험도 가능해 향후 번인장비의 주력제품으로서 연간 3백억원 이상의 매출을 올릴 것으로 전망된다. 회사 관계자는 "고난도 분야인 테스트 번인장비 기술을 확보함으로써 외국 기업들이 독점하고 있는 웨이퍼 번인장비 및 테스터도 단기간내 국산화할수 있게 됐다"고 말했다. ( 한 국 경 제 신 문 1998년 12월 1일자 ).