[벤처&이머징면톱] 기체농도 실시간 '모니터링'

연세대 화학과 졸업생들이 은사교수의 원천기술로 실시간 기체 모니터링
시스템을 국내 최초로 개발해냈다.

에이엘에스(대표 이동훈)는 반도체 클린룸에 미량으로 존재하는 암모니아 등
의 기체를 실시간으로 검출할 수 있는 모니터링 장비 "PAS-101"을 개발했다고
31일 밝혔다.

에이엘에스는 이동훈(36) 이성주(40) 박영훈(35)등 연세대 화학과 석.박사
동문들이 주축이 돼 지난해 8월 창업한 벤처기업.

우수한 기술이 인정돼 산업자원부 신기술창업보육자금을 지원받았다.

고체화학 전공인 이동훈 박사는 일본 가나가와 기술아카데미 연구원, 전도성
고분자 전공인 이성주 박사는 미국 펜실베이니아대 박사후 연구원과
한국과학기술연구원(KIST), 분석화학 전공인 박 박사는 미국 일리노이대
박사후 연구원 과정을 거친 경력을 갖고 있다.

이들이 스승이자 국내 대기환경 분야의 권위자인 이동수 연세대 화학과 교수
의 기술을 전수받아 제품화에 성공한 것이다.

현재 국내의 반도체 회사들은 64메가D램에 이어 256메가D램 및 1기가D램 등
초집적 반도체의 본격 생산채비를 갖추고 있는 상황.

이 첨단 반도체를 생산하기 위해선 더욱 엄격한 기준의 클린룸 유지가
필수적이다.

반도체의 회로를 만드는 "자외선 전사법(UV Lithography)"공정에서
암모니아 등의 기체는 불량을 일으키는 원인이 되기 때문.

일반 화학필터로는 기체를 완전 제거하기가 어려우므로 기체 분석 모니터링
의 중요성이 한층 높아졌다는 것이다.

이 교수팀의 6년여 연구기술이 담긴 이 회사 장비는 획기적인 발전을
이뤘다.

기존 제품이 24시간 전의 평균적인 기체 농도를 알려주는 반면 PAC-101은
거의 실시간(5분 간격)으로 분석자료를 내 준다.

바로바로 클린룸의 상황을 파악할 수 있으므로 공정을 중단하고 필터를 교체
한다든지, 아니면 클린룸의 공기 자체를 다시 순환한다든지 등의 조치를 즉각
취할 수 있다.

1천억분의1이하 수준의 정량분석을 가능하게 하는 고효율의 분석기술도
돋보인다는 것.

특허출원중인 이 장비는 2월부터 본격 생산될 예정.

현재 모 대기업에 납품하기 위한 성능 테스트도 순조롭게 받고 있다.

또 좁은 공간에서도 설치와 운영이 편한 포터블 장비의 개발도 추진중이다.

이 사장은 "256메가D램의 양산이 시작될 것으로 보이는 내년엔 기체
모니터링 장비 시장 규모가 연간 5백억원에 이를 것"이라며 사업성을 높이
평가했다.

(02)396-2185

( 한 국 경 제 신 문 2000년 2월 1일자 ).