반도체 장비업체 컨소시엄 구성

아토 등 반도체 장비업체들이 컨소시엄을 구성해 반도체 장비 개발에 공동으로 나선다.

21일 관련업계에 따르면 아토 등 반도체 장비회사들은 지난달부터 반도체 장비 개발,유지 및 보수를 공동으로 추진하기 위한 컨소시엄을 구성키로 논의해 왔으며 최근 11개 업체가 컨소시엄에 참여하기로 했다.

또 2∼3개 업체가 추가로 참여를 검토하고 있는 것으로 전해졌다.

국내 반도체 장비회사 2∼3개 업체가 시장 개척을 위해 제휴를 맺은 적은 있지만 10개 이상이 컨소시엄을 구성키로 한 것은 이번이 처음이다.

아토가 중심이 되고 삼성전자가 지원하는 이 컨소시엄은 우선 기존 장비의 유지 보수 및 개조 기술 향상을 위해 노력키로 했다.

장기적으로는 3백㎜ 웨이퍼용 차세대 반도체의 핵심장비 개발에도 나설 계획이다.

국내 반도체 장비회사들이 공동개발을 위한 컨소시엄을 구성키로 한 것은 어플라이드머티리얼스 도쿄일렉트론 등 전세계 15개 주요 장비회사들이 오는 8월께 컨소시엄을 구성키로 한 데 따른 대응 전략으로 보인다.

박준동 기자 jdpower@hankyung.com