주성엔지니어,반도체소자 제조장치 특허 취득

주성엔지니어링은 가스 포커스 링을 구비하는 반도체 소자 제조장치에 관한 특허를 취득했다고 4일 공시했다. 한경닷컴 김희수 기자 hskim@hankyung.com