동부하이텍, 미 앤커사 공정최적화 솔루션 도입
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동부하이텍 반도체부문은 미국 앤커사로부터 90나노급 및 130나노급 반도체 생산에 적용할 수 있는 제조공정 최적화 솔루션인 DFM을 도입했습니다.
DFM 솔루션은 90나노급 이상의 초미세공정으로 설계된 반도체 회로와 관련해 실제 생산과정에서 발생하는 회로 간 간섭현상 등 문제를 사전에 예측하고 개선해주는 역할을 합니다.
동부하이텍 관계자는 "60나노·45나노급에서도 적용이 가능한 도구라며 팹 제조공정의 최적화 과정을 거쳐 내년부터 본격적으로 사용할 계획"이라고 설명했습니다.
전재홍기자 jhjeon@wowtv.co.kr