케이씨텍, 건조제 공급장치 관련 특허취득

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반도체 및 FPD용 전공정장비 전문기업 케이씨텍은 4일 건조제 공급장치와 관련된 특허를 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "이번 특허는 액상 건조제의 수위를 일정하게 유지시켜 보다 효과적으로 웨이퍼의 건조가 이루어질 수 있게 하는 것"이라고 밝혔다.

한경닷컴 변관열 기자 bky@hankyung.com

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