반도체 제조시설이 소량으로 위험물을 사용하는 설비를 증설할 때는 변경허가를 면제하기로 하는 등 정부가 반도체 시설 규제 개선에 착수했다. 소방청은 18일 '반도체 제조공정의 일반취급소 특례'를 주요 내용으로 하는 '위험물안전관리법 시행규칙 일부개정령안'을 마련했다.
반도체를 제조하기 위해 위험물을 사용하는 시설은 위험물안전관리법에 따라 소방서장의 허가를 받아야 하는 등 다양한 안전 규제를 준수해야 한다.
그러나 현행법은 급변하는 반도체 제조공정 환경을 반영하지 못해 직접 적용이 곤란하고, 허가심사 절차를 지연시키는 사례도 있었다. 이에 소방청은 업계의 고충사항을 듣고 미국과 대만 등 해외 반도체산업의 관련 기준을 검토해 개정안을 만들었다.
반도체를 제조하기 위해 위험물을 사용하는 시설이 설비를 증설하려 할 때는 해당 설비의 위험물 사용량과 관계없이 소방서장의 변경 허가를 받아야 했다.
개정안은 지정 수량의 5분의 1 미만인 소량으로 위험물을 사용하는 설비를 증설할 때는 변경 허가를 받지 않을 수 있도록 했다. 또 현행법은 반도체를 제조하는 일반취급소 건물 내부에서 폭발이 발생할 경우 폭발력이 지붕을 통해 외부로 방출될 수 있도록 가벼운 불연재료로 지붕을 설치하도록 하고 있다.
그러나 반도체 제조 건축물의 지붕에는 무거운 설비가 설치돼있어서 현행 기준을 준수하기 어렵다.
개정안은 제조소 건축물의 지붕을 내화구조로 설치할 수 있도록 한다. 단, 가연성 증기 등이 체류할 우려가 없는 경우에 한한다.
또 반도체 제조 클린룸에 국제기준에 적합한 공조설비를 설치할 경우에는 환기·배출설비를 설치하지 않을 수 있도록 규제를 완화했다.
아울러 클린룸 내부에 설치된 위험물 취급설비에 국제기준에 적합한 소화장치가 내장된 경우에는 분말소화설비를 설치하지 않을 수 있도록 한다.
분말 소화약제의 방출에 따른 클린룸의 오염을 초래할 우려가 있어서다. 소방청은 올해 하반기 개정령안 정비를 마무리하고 연말에 공포·시행하는 것을 목표로 하고 있다.