반도체등 첨단산업에 필수적인 청정환경을 연구하기 위한 실험용
클린룸(Clean Room)이 한국과학기술연구원(KIST)내에 설립돼 우리나라의
클린룸기술개발의 산실역할을 담당하게 됐다.
클린룸은 제품의 높은 정밀성과 고품질을 달성하기 위해 공기중의
입자뿐만 아니라 온도, 습도, 기류, 기압등의 실내조건을 각각
제품생산에 요구되는 수준으로 유지할 수 있는 청정환경설비로 첨단산업의
필수적인 시설이다.
4월2일 준공식을 갖는 실험용 클린룸은 건물 높이가 7m, 전체면적이 40
제곱미터로 0.3마이크로(1마이크로는 1mm의 천분의 1)기준 청정도등급 10의
클린룸 1개와 등급 1000의 클린룸 2개등 모두 3개의 클린룸과 전실(준비실)
로 구성돼 있다.
0.3마이크로 기준 청정도등급 10은 1입방피트의 공기중에 직경 0.3마이
크로 이상의 미립자가 10개 포함돼 있는 상태를, 등급 1000은 1천개 있
는 상태를 말한다.
KIST 공조환경제어연구실이 한국공기청정연구조합과 공동으로 2억원을
들여 착공 4개월만에 준공하게 된 이 클린룸은 계획 및 설계단계에서부터
시공, 제작, 성능 평가까지 그동안 축적돼온 순수한 국내기술과 자재로
제작됐으며 제작비도 관련업계 에서 자발적으로 부담했다.
이 클린룸은 1차적으로 현재 공기청정연구조합과 공동수행중인
클린룸기술기준 연구를 위한 클린룸성능평가 및 기준의 검증실험을 비롯해
국책과제로 수행중인 초청정기술개발의 연구실험실로 활용하게 된다.
공기중에는 1당 직경 0.5마이크로 이상의 입자가 약 3억개 이상 존
재하나 1메가 DRAM 이상의 반도체를 생산하기 위해서는 입자의 수를 1개
이하로 줄여야 하기 때문에 첨단산업에서의 승부는 초청정클린룸의 확보에
달려 있다.
우리나라는 지난 87년부터 초정정기술을 국책과제로 선정,연구개발에
힘쓰고 있으나 아직 0.1마이크로 정도의 미립자를 걸러낼 수
있는 ULPA(극저압손)필터는 물론 0.3마이크로의 미립자를 걸러낼 수 있는
HEPA(고효율입자제거)필터의 재료를 전량 수입에 의존하고 있으며
초청정도를 계측하고 평가하는 기술도 확보하지 못한 실정이다.
기술보호장벽이 갈수록 높아가는 추세속에서 16메가DRAM
이상의 초집적반도체는 일본등 선진국에서 초청정기술을 제공하지
않을 경우 반도체생산기술을 갖고 있어도 제조할 수 없게 된다.
클린룸은 크게 부유물 미립자제거용의 산업용 클린룸과
미생물의 오염농도를 제어하는 바이오클린룸으로 나뉘며 산업용 클린룸은
반도체등 전자부품은 물론 정밀기계, 광학, 신소재산업등에도 사용이
확대되고 있으며 바이오클린룸은 제약공장을 중심으로 식품,
생명공학, 의학분야등에서 사용되고 있다.