한양대, 오늘 12일 첨단 반도체센터 개설

입력1992.05.08 00:00 수정1992.05.08 00:00

한양대는 오는 12일 교내 공업센터건물 3층에 첨단반도체연구센터를
개설한다.
총80평규모에 63평의 청정실을 갖춘 이 연구센터는 첨단박막코팅기계인
스퍼터 PECVD등을 갖추고 있으며 분석실 CAD실 주사현미경실등 부대시설도
구비하고있다.
이 연구센터는 단기적으로 실리콘소자및 회로의 설계와 제도등에 힘쓰고
장기적으로는 초고속소자및 회로,센서 광소자등 특수소자의 개발,반도체
공정장비개발및 자동차연구등에 주력할 계획이다.

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