반도체 제조장비인 초고진공 이온펌프및 챔버가 국내에서 개발됐다.

3일 상공부및 업계에 따르면 뉴텍코리아(대표 정찬익)는
전자부품종합기술연구소와 공동으로 진공도 10토르(7백60분의 1기압)이상의
초고진공 이온펌프및 챔버를 국산화했다. 이장비는 미국 베리안사및
퍼킨엘머사,일본 아네르바사,독일 레이볼트사등 4개사에서 생산되고 있는
첨단장비로 우리나라 반도체업체는 지금까지 전량 수입에 의존해왔다.

이번에 개발된 진공펌프및 챔버는 반도체 개발과 생산및 분석과정에
활용되는 장비로 화합물반도체양산공정을 비롯 방사광입자가속기및
각종분석기기의 진공펌핑에 필수적으로 쓰인다.

뉴텍이 개발한 제품은 오일을 사용치 않도록 제작돼 기준 진공펌프보다
깨끗하고 진공도가 높은 초진공상태를 만들수 있으며 재료및 부품까지
국산화 했다고 개발팀은 밝혔다.

이회사는 지난91년부터 2억원을 들여 제품개발에 나서 30,60,1백10 짜리등
3개기종을 국산화했다. 이장치의 국내제작으로 연간90억원의
수입대체효과를 올리게될 전망이다.

진공장치관련 연간수입규모는 3백여대로 대당 1천만 7천만원이 소요되나
뉴텍의 제품은 이의 70%수준에 공급될 것으로 회사측은 내다봤다.