뇌나 심장등에서 발생하는 극미세의 생체 자기를 측정하는
의료진단기기등에 응용이 가능한 최첨단의 자기기서가 국내에서 개발됐다.

15일 한국표준과학연구원은 양자연구부 박종철 이순걸박사팀이 절대온도
77K(영하 1백96도)의 액체질소온도에서 작동되는 다층박막을 이용한
자기센서인 고온 초전도 양자간섭장치(SQUID)를 개발했다고 밝혔다.

초전도 양자간섭장치는 초전도회로내에 2개의 조셉슨접합물이 들어가 있는
것으로 극미세의 자기장까지도 측정이 가능한 최첨단의 센서이다. 이
센서를 응용할 경우 인간의 신경활동에서 나오는 극미세 자기장까지도
측정,뇌신경계질환등을 알아낼수 있는 의료진단기기를 만들수 있다. 또
지구자기장의 변화를 알아내 매장된 광물을 찾아내는 장치나
잠수함탐지등의 군사용 천체물리학연구등 광범위한 응용이 가능하다.

초전도 양자간섭장치는 기존에 절대온도 4K(영하 2백69도)의 저온에서
작동되는 것이 나와 응용연구가 진행되고 센서기판도 단층인 것은 개발된
상태이나 이처럼 다층이면서 고온초전도 센서가 개발된 것은 이번이
처음이다.

박박사팀은 엑시머레이저로 초전도 물질을 순간적으로 증발시켜 박막을
제작하는 레이저 증착법을 이용,다층박막을 만든뒤 이온 식각법을 써 수
마이크로미터의 선폭을 미세 형상화 했다고 말했다.