<해외경제>전자기술연구소, 강력센서개발[일본공업신문]
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일본의 공업기술원산하 전자기술종합연구소는 최근 민생용으로 일
반적으로 사용되고있는 칼륨.비소계의 반도체자기센서에 비해 감도가
수10배에서 수백배나 높은 진공마이크로자기센서를 개발했다고 발표했
다.
진공속에서의 전자와 자장의 상호작용을 이용하는 진공마이크로일
렉트로닉스기술을 이용해서 자기센서를 개발한것은 이번이 처음이다.
이센서는 모터의 회전제어나 원자력발전소에서 작업하는 로보트의
방위측정등 힘든 환경속에서의 내환경형센서로 응용이 기대된다.
반적으로 사용되고있는 칼륨.비소계의 반도체자기센서에 비해 감도가
수10배에서 수백배나 높은 진공마이크로자기센서를 개발했다고 발표했
다.
진공속에서의 전자와 자장의 상호작용을 이용하는 진공마이크로일
렉트로닉스기술을 이용해서 자기센서를 개발한것은 이번이 처음이다.
이센서는 모터의 회전제어나 원자력발전소에서 작업하는 로보트의
방위측정등 힘든 환경속에서의 내환경형센서로 응용이 기대된다.