반도체제조용 웨이퍼를 건조시키는 새로운 형태의 건조장비인 나선형 오토
스핀드라이어가 빠르면 내년부터 현장에 직접 활용할수 있게됐다.
17일 전자부품종합기술연구소(KETI) 조철형박사팀은 한양대 한국과학기술원
한양기공등 학계 및 업체와 함께 지난 2년간의 공동연구끝에 나선형 오토스
핀드라이어의 기술개발을 끝내고 현재 2개 중소업체에 시작품제작을 위한 가
공을 맡겨놓은 상태라고 밝혔다.
지난해 이장비의 연구용 시제품이 개발된데 이어 이번에 현장활용이 가능한
장비로의 제조기술이 확보됨에 따라 오는 10월말께면 양산용 시제품이 선보
이게 될것으로 보여 내년부터는 현장생산라인에서 이장비를 활용할수 있게됐
다는 것이다.
이번에 개발된 오토스핀드라이어는 연구용시제품에서는 외부로 나와있던 대
형의 컨트롤러를 축소, 이를 드라이어의 본체에 내장하는등 현장에서 활용할
수있도록 전체규모를 축소했다.