현대전자는 2일 반도체제조장비인 웨이퍼이송장치를 개발했다고 밝혔다.
웨이퍼이송장치는 산화막을 입히는 확산공정중 웨이퍼를 플라스틱용기인 폴
리프로필렌카세트로부터 석영으로 만들어진 쿼츠보트에 싣고 내리는 설비이
다. 현대전자는 6개월간의 연구끝에 기구설계 회로설계 가공 조립에 이르는
모든 기술을 자체개발,반도체제조장비를 국산화하게 됐다고 밝혔다.
현대전자는 반도체가공공장에서 7대의 웨이퍼이송장치를 시험가동하고 있으
며 기존의 외국장비는 국산제품으로 계속 교체해 나가기로 했다.
현대전자가 개발한 웨이퍼이송장치는 웨이퍼를 일정방향으로 균일하게 하는
정렬기를 부착, 별도의 정렬공정없이 웨이퍼를 옮길수 있으며 각부분의 제어
회로가 독립적으로 구성돼있어 시스템유지및 보수가 쉬운게 특징이다.
또 이송시간을 기존외국제품보다 줄이고 가동중인 반도체라인에 쉽게 적용
될수 있는 8타입제품으로 설계, 라인의 안정성을 높였다고 현대전자는 밝혔
다