신성엔지니어링(대표 이완근)이 초고집적도의 반도체생산을 위한 클린룸장
비를 개발했다.
이회사는 20일 3억원의 개발비를 투입,종전의 클린룸장비인 FFU의 단점을
크게 보완한 CFFU를 개발,양산체제에 들어갔다고 밝혔다.
이번에 개발된 CFFU는 각 공정별로 공조시스템을 독립시켜 온 습도제어가
용이한데다 중앙집중식에 의해 조절되기 때문에 유지관리가 쉽다고 회사측
은 설명했다.
또 제습용 각종 폄프등의 장비운전시간을 단축해 25%이상의 에너지절감효
과를 거둘수있다는 것이다.
이시스템은 반도체제조공장은 물론 높은 청정도를 요구하는 병원의 응급실
이나 중환자실등에 사용이 가능하다고 신성은 설명했다.