일본 고쿠사이전기는 완전모줄화로 조(체임버)구성을 자유롭게 확장할

수있는 액정패널제조용 배엽식다층연속성막플라즈마화학기상성장(CVD)장

치인 ''DL-100시리즈''를 개발, 최근 시판에 나섰다. 소용량형 DL-100(가격

2억5,000만엔)과 양산형의 동1200(동5억엔)이 있다. 출하는 1994년6월부

터. 판매목표는 앞으로 2년간 약35억엔. 동사는 20%의 시장셰어를 목표로

한다.