공업기술원, 글로우 방전 질량 분석기 국내 최초 도입

입력1994.04.29 00:00 수정1994.04.29 00:00

공업기술원은 최근 글로우 방전 질량 분석기를 국내 최초로 도입했다.
이장비는 반도체및 금속재료등 모든 고체 시료중에 함유되어있는 원소
들을 정확하게 분석할뿐아니라 다층박막제품에 대한 층별 원소분석이
가능한 최첨단분석기이다.
공업기술원은 5월 한달동안 기기 작동 시험운영을 거친뒤 6월부터 일반
기업이 사용할수있게 개방할 예정이다.

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