히타치제작소는 새로 개발한 반도체복합센서를 채택, 손바닥크기의

작은 인텔리전트차압.압력전송기 ''EDR/EPR510시리즈''7기종을 21일 시판

한다. 가격은 차압전송기가 35만5,000엔부터이며 압력전송기는 34만5,000

엔부터. 새로운 시리즈엔 마이크로 머시닝기술과 프로세스기술로 개발한

소형, 고성능반도체복합센서가 사용됐다. 차압전송기의 경우 무게가 3.3

킬로그램이며 압력전송기의 경우 2.8킬로그램에 불과하다.