<해외경제>일사, 레벤슨형위상시프터기훌혁신[일공업신문]

입력1994.07.22 00:00 수정1994.07.22 00:00

도시바는 로직등 불규칙성패턴에도 적용할수있는 레벤슨형위상시프터

의 자동배치기술을 개발했다. 레벤슨형은 LSI의 노광해상도를 향상시키는

위상시프트기술로는 가장 효과적인것으로 알려졌으나 메모리 셀등 규칙성

패턴에 적용이 한정되는 결점이 있었다. 이로써 종래 수작업으로 2개월

소요되던 시프트배치가 30분의 1인 2일간으로 단축됐다.

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