과기처는 선도기술개발사업으로 추진하고 있는 차세대 반도체 기반기술
개발사업의 계속여부를 신중히 검토하고 있다.

2일 과기처에 따르면 최근 삼성전자가 256메가 D램의 개발성공으로 이사업
의 타당성을 상실했다고 판단 계속여부를 검토하고 있다.

차세대 반도체 기반기술사업은 64메가 D램 개발 후속사업으로 지난해 8월
착수 오는 97년까지 산 학 연공동으로 256메가 D램을 개발할 계획이었다.

과기처 관계자는 이사업의 파급효과등 제반여건등을 재조사 계속여부를
결정할 방침이라고 말했다.

과기처 체신부등 관계부처들이 추진하고 있는 이사업은 256메가 D램급이상
의 초고집적 반도체에 관련된 핵심기초 및 기반기술을 개발하는 사업으로
총연구사업비는 1천9백54억원규모이다.

분야별 연구목표는 단위공정기술 반도체재료기술 반도체장비기술 선행기초
기술연구등으로 돼있다.

단위공정기술에는 유전체 기술개발 패턴닝 기술개발등이 있으며 반도체
장비기술에는 트랙크 장비개발 CVD시스템개발이 포함돼 있다.

<이기한기자>