과기처는 선도기술개발사업으로 추진하고있는 차세대 반도체
기반기술개발사업의 계속여부를 신중히검토하고있다.
2일 과기처에 따르면 최근 삼성전자가 256메가 D램의 개발성공으로
이사업의 타당성을 상실했다고 판단 계속여부를 검토하고있다.
차세대 반도체 기반기술사업은 64메가 D램 개발 후속사업으로 지난해 8월
착수 오는 97년까지 산 학 연공동으로 256메가 D램을 개발할계획이었다.
과기처 관계자는 이사업의 파급효과등 제반여건등을 재조사 계속여부를
결정할 방침이라고 말했다.
과기처 체신부등관계부처들이 추진하고있는 이사업은 256메가 D램급이상의
초고집적 반도체에 관련된 핵심기초 및 기반기술을 개발하는 사업으로
총연구사업비는 1천9백54억원규모이다.
분야별 연구목표는 단위공정기술 반도체재료기술 반도체장비기술
선행기초기술연구등으로 돼있다.
단위공정기술에는 유전체 기술개발 패턴닝 기술개발등이 있으며 반도체
장비기술에는 트랙크 장비개발 CVD시스템개발이 포함돼있다.
<이기한기자>