[특허정보] 자석유니트 ; 반도체웨이퍼의 열처리방법
-
기사 스크랩
-
공유
-
댓글
-
클린뷰
-
프린트
<> 자석유니트 (3083 김기태외1)
=자석판과 한쌍의 자석을 조합해 강력한 자력을 얻게한 자석유니트.
한 쌍의 자석에서 자석의 같은 극을 부분적으로 연결하고 다른 면은
열리도록 자석을 조합하고 이 개방부를 자성체로 된 덮개로 폐쇄한다.
여기서 덮개는 강자성체를 재료로 한다.
<> 반도체웨이퍼의 열처리방법 (3232 박세근)
=스트립히터를 사용,반도체웨이퍼의 표면을 국부적으로 주사하면서
열처리하는 방법.
열처리할 반도체웨이퍼를 수납하는 웨이퍼수납대와 반도체웨이퍼를
국부적으로 열처리하는 스트립형상하부가열,온도측정및 웨이퍼수납대
구동장치등으로 구성된다.
(한국경제신문 1995년 5월 29일자).
=자석판과 한쌍의 자석을 조합해 강력한 자력을 얻게한 자석유니트.
한 쌍의 자석에서 자석의 같은 극을 부분적으로 연결하고 다른 면은
열리도록 자석을 조합하고 이 개방부를 자성체로 된 덮개로 폐쇄한다.
여기서 덮개는 강자성체를 재료로 한다.
<> 반도체웨이퍼의 열처리방법 (3232 박세근)
=스트립히터를 사용,반도체웨이퍼의 표면을 국부적으로 주사하면서
열처리하는 방법.
열처리할 반도체웨이퍼를 수납하는 웨이퍼수납대와 반도체웨이퍼를
국부적으로 열처리하는 스트립형상하부가열,온도측정및 웨이퍼수납대
구동장치등으로 구성된다.
(한국경제신문 1995년 5월 29일자).