현대전자는 반도체 제조시 웨이퍼를 자동으로 분류, 다음 공정으로 이송해
주는 소팅(Sorting)장비 를 국산화했다고 12일 발표했다.

이 회사는 그동안 전량 수입에 의존해 오던 소팅 장비를 자체 생산하게
됨으로써 연간 5백억원 정도의 수입대체 효과가 기대된다고 밝혔다.

소팅장비는 16메가D램 이상급 반도체 제조시 공정의 흐름에 따라 웨이퍼를
25장씩 옮겨 주는 역할을 하는 장치다.

현대는 기존 소팅 장비를 사용할 경우 일부 공정에서는 손으로 웨이퍼를
옮겨야 했으나 이 장비는 전공정에 적용할 수 있어 웨이퍼의 손상이 적다고
설명했다.

또 카세트(웨이퍼 25장의 묶음)당 처리속도가 기존 9분에서 5분으로
줄어들어 웨이퍼 처리량을 30% 정도 늘릴 수 있다고 덧붙였다.

이와 함께 한글 메뉴에 따라 장비를 가동, 작업자들이 쉽게 이용할 수 있는
특징이 있다고 덧붙였다.

< 조주현기자 >

(한국경제신문 1996년 3월 13일자).