[반도체 장비] 신제품 퍼레이드 : 클린룸 .. 소음 대폭 줄여

신성엔지니어링의 고성능 팬필터 유니트는 반도체 생산공장의 클린룸설비에
필수적인 공기청정장치로 천장에 시공하여 클린룸 전체의 청정도를 클래스
1-100으로 만들어준다.

이 장비는 신성엔지니어링 기술연구소의 연구개발을 통해 기존제품보다
성능향상을 이룬 제품으로 자체 소음을 4 이하로 줄이고 반도체 생산라인
에서 불량의 원인이 될수있는 진동을 대폭 개선한게 특징이다.

전력 소모량 또한 절감됐고 외관 높이도 1cm가량 줄여 건물의 층고를
줄였으며 중량도 가벼워 설치가 용이하다.

(한국경제신문 1996년 6월 10일자).