[반도체 장비] 신제품 퍼레이드 : 약품중앙공급장치

성도엔지니어링이 자체 개발한 초고순도 약품 중앙공급장치(CCSS)는
반도체소자 제조공정에서 초고순도 약품을 공급하는 장비이다.

이 장치는 약품 저장 체임버와 배관 제어장비등으로 구성되며 약품을
여러개의 사용 지점에 자동으로 안전하게 공급하면서 동시에 약품의
품질저하가 없게 작동및 관리되도록 했다.

성도엔지니어링은 이장비를 기존 장비보다 약품의 마찰 손실을 최소화한
배관설계와 함께 배관제의 내구성및 안전성이 높아지도록 개선했다.

또 일본 미쓰비시화학및 미쓰비시가세이와 기술제휴를 맺고 관련 기술을
개발하고 있다.

(한국경제신문 1996년 6월 10일자).