미세한 각도변화를 감지해 각종 전자기기의 자세및 위치를 제어해 주는
고감도 자이로스코프가 개발됐다.

삼성종합기술원은 1초에 0.1도이하의 각도변화까지 감지할수 있는
마이크로 자이로스코프 시작품을 개발했다고 5일 발표했다.

이번에 개발된 마이크로 자이로스코프는 실리콘기판 위에 다결정 실리콘
박막을 7.5미크론m 두께로 증착하는 방법으로 만들어 미국 일본등지에서
개발된 것보다 감도가 10배이상 높은게 특징이다.

또 공기저항을 줄이기 위해 고진공하에서 패키징했으며 기계식인 기존
제품과는 달리 반도체공정을 이용해 칩형태로 만들어 경제성이 높은 것이
장점이다.

자이로스코프는 상하 좌우 전후에 생기는 각속도(시간당 각도가 변화하는
양)를 검출, 이동체의 속도와 위치를 알려주는 센서이다.

이제까지는 미국 아날로그디바이스사와 UC버클리대가 1초에 1도까지의
각도변화를 감지할수 있는 표면미세방식의 마이크로 자이로스코프를 발표
했으나 이는 실험실차원에서 이루어진 것으로 알려지고 있다.

< 김재일기자 >

(한국경제신문 1996년 11월 6일자).