아남반도체기술은 반도체 패키지클리닝장비인 "ATC1200A"를 개발했다고
25일 밝혔다.

이 장비는 리드프레임의 완전한 세척을 위해 아래와 위쪽에서 분무되는
세척액의 상하압력을 각각 조절할수 있게 제작됐다.

또 자체개발한 회전식 체인을 채택했고 부하를 최소로 줄였다.

드라이구역의 히터는 안전을 고려해 설계했고 다른 장비에 의한 후공정과
의 연결이 쉽도록 각각의 리드프레임이 정렬돼 나오게 했다.

그동안 클리닝장비는 주로 외국산에 의존해왔는데 이번 장비개발을 계기
로 아남은 다양한 클리닝장비를 국산화할 계획이다.

< 김낙훈기자 >

(한국경제신문 1996년 11월 26일자).