한일초음파, TFT-LCD 세척기 개발..먼지 등 초음파이용 제거

미세가공기술이 요구되는 초박막액정표시장치(TFT-LCD)를 제조할때 먼지나
오물을 청소해주는 세척시스템이 국산화됐다.

세척기전문업체인 한일초음파(대표 김채진)는 3년동안 6억3천만원을 들여
연구한 끝에 LCD 제조과정에서 초음파등을 이용해 1미크론m 이하의
미세입자까지 제거할수 있는 세척시스템을 개발했다고 3일 밝혔다.

이 시스템은 물을 뿌리면서 동시에 1MHz의 메가소닉 초음파를 발생시켜
물의 미세진동으로 오물을 제거하는등 모두 9단계에 걸쳐 연속세척하도록
돼있다.

특히 초정밀건조를 위해 산소를 제거한 물(탈산소수)의 응집력을 이용해
말끔하게 건조할수 있도록 탈산소수제조장치가 부착돼 있는게 특징이다.

회사측은 이 시스템이 LCD를 제조하는 30여개 공정 모두에서 사용할수
있으며 13인치급 LCD 6장분량인 가로 세로 5백50 x 6백50mm 크기 유리기판을
시간당 60장정도를 처리할수 있다고 밝혔다.

이 회사는 이 시스템을 연간 10대정도 생산할수 있는 2백평방m 크기의
클린룸을 이달중 완공하는대로 생산에 나선후 점차 설비를 늘려갈 계획이다.

현재 국내에서 사용되고 있는 LCD세척기는 일본산이 대부분인데 연간 시장
규모는 1천억원이 넘는 것으로 추정되고 있어 새 제품이 본격 시판될 경우
수입대체효과가 막대할 것으로 예상되고 있다.

이 회사는 앞으로 이 시스템을 기반으로 해 PDP(플라즈마디스플레이패널)
하드디스크 반도체등의 세척시스템을 순차적으로 국산화할 계획이다.

<이창호기자>

(한국경제신문 1997년 2월 13일자).