물질내에 포함되어 있는 거의 모든 원소의 구조를 분석할 수 있는
새로운 물질분석장치가 개발됐다.

삼성종합기술원 분석연구실 송세안 박사팀은 러시아 PTI연구소와 공동
으로 산소에서부터 우라늄까지 모든 원소의 구조를 분석할 수 있는 X선
전자분광분석장치(XIEES)를 개발했다고 8일 밝혔다.

이 장치는 물질로부터 방출되는 전자 및 X선을 검출해 물질의 원자구조
를 분석하는 것으로 단색광 에너지영역이 0.47~41.6킬로전자볼트( keV )
에 달해 기존 장치(4~14 keV )보다 분석범위가 넓은게 장점이다.

또 X선 흡수,형광 X선 방출,X선 흡수스펙트럼,전자방출 스펙트럼,2결정
회절스펙트럼,전반사형광스펙트럼 등을 얻을수 있다.

특히 대상 물질을 손상시키지 않는 비파괴분석은 물론 물질의 표면에
대해서만 분석할수도 있으며 박막물질의 경우 별도의 시료를 제작하지 않
아도 된다.

이 장치는 물질을 구성하는 특정원자와 주위원자간의 상호배열 및 전
자구조를 정확히 분석하는데 활용될 수 있으며 반도체,박막소자,금속 및
세라믹,촉매,금속유기화합물,단백질결정,비정질물질 등의 분석에 폭넓게
활용될 것으로 기대된다.

또 X선과 물질의 상호작용으로 생성되는 전자방출의 생성메커니즘을
규명하는 기초설비로도 활용될 것으로 전망된다.

(한국경제신문 1997년 10월 9일자).