삼성종합기술원, 극소형 관성센서 국내 개발

삼성종합기술원 1초에 0.05도까지의 각속도변화를 감지해낼 수 있는
극소형 관성센서가 개발됐다.

삼성종합기술원은 2축 감지형 마이크로 자이로스코프와 고감도
가속도센서가 내장된 가로 1.4cm, 세로 7cm, 높이 2.5cm의 극소형 관성센서를
개발했다고 19일 밝혔다.

반도체박막공정의 표면미세가공 방식으로 제작된 이 관성센서는 1초에
0.05도까지의 각속도변화와 3mg(중력가속도)의 가속도변화를 감지해낼 수
있으며 크기가 작아 자동차의 자세제어장치, 항법장치는 물론 전자펜에까지
활용할 수 있다.

2축 감지형 마이크로 자이로스코프는 2개의 각속도센서를 단일칩화한
것으로 좌우 및 상하 회전운동을 동시에 측정, 캠코더의 손떨림방지나
3차원 마우스, 가상현실용 헤드 마운트 디스플레이(HMD)등에도 활용
가능하다.

또 실리콘웨이퍼 위에 초소형구조물을 얹어 만든 가속도센서는 이 구조물의
위치변화로 진동이나 충격을 측정하는데 자동차에어백 전자식현가장치 등의
필수부품으로 사용할수 있다.

삼성종합기술원측은 지난해 11월 1초에 0.1도의 각속도변화를 감지할 수
있는 마이크로 자이로스코프의 개발경험을 살려 이번에 고정밀 관성센서를
제작하는데 성공함으로써 자이로스코프의 실용화를 한층 앞당기게 됐다고
설명했다.

(한국경제신문 1997년 11월 20일자).