포항산업과학연구원(RIST.원장 신현준)은 진산엔지니어링과 공동으로
공구 장식품 등의 표면처리 코팅작업에 필수적인 "고성능 마그네트론 스
퍼터링 소스(UBM)"를 개발했다고 20일 밝혔다.

스퍼터링이란 진공상태의 용기안에 아르곤 등 분활성 기체를 채워 코
팅재료인 타켓(소스)에 고전압을 걸어 방전시키면 이온화된 불활성 기체
가 타켓에 충돌,이때 타켓물질의 이온이 튀어나와 기판에 달라붙어 코팅
이 되는 물리증착 기술이다.

마그네트론 스퍼터링 기술은 단순히 전기를 걸어주는 다이오드 스퍼터
링기술과 달리 자석을 이용해 표면코팅 능력을 크게 향상시킨 것으로 RI
ST 계측연구팀(연구책임자 정재인책임연구원)에 의해 국내 첫 개발된 것
이다.

즉 마그네트론 스퍼터링 소스에 별도의 전자석을 붙여 자장을 기판으로
향하게 함으로써 기판과 타켓물체 사이의 거리를 두배 이상 증가시켰으며
코팅후 피막의 밀도가 높고 코팅처리된 표면의 평탄도도 뛰어난 것으로
나타났다.

진산은 관련 설계 및 공정기술을 개발해 시제품을 만들었으며 수출 상
담중인 일본 대만 홍콩 등지로 올해 약 2백만달러어치를 수출할 계획이다.

( 한 국 경 제 신 문 1998년 7월 21일자 ).