어플라이드 머티리얼즈 코리아(대표 이영일)가 고집적 반도체의 생산
효율을 획기적으로 높인 결함검사용 전자현미경(SEMVision)을 국내에서
처음으로 개발했다고 22일 밝혔다.

이 전자현미경은 반도체 웨이퍼의 각종 결함을 고속으로 검출해 낼 수 있는
장비로서 대량 생산용 자동시스템이다.

이는 기존 장비보다 최대 10배 이상 빠른 처리속도와 광학검사장비에서는
불가능한 1미크론m 이하의 높은 해상도를 가졌다.

또 다중투시 영상기술(MPSI)을 사용, 결함의 모양과 구성물질을 정확하게
알아낼수 있어 결함형태별로 시간당 3백개 이상을 처리 할 수 있다.

이 자동결함 분류기능은 0.18미크론m및 그 이하의 차세대 IC를 생산하는데
꼭 필요한 기술이다.

이영일 사장은 "기존 광학검사장비로는 0.25미크론m이하의 소자에서 결함을
조사하는데 어려움이 많기 때문에 차세대 반도체의 생산을 위해선 결함검사용
전자현미경의 채택이 불가피하다"고 밝혔다.

< 노웅 기자 woongroh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 7월 23일자 ).