미래로시스템(대표 김문)이 반도체의 기본재료인 웨이퍼의 불량률을 크게
낮춰 생산성(수율)을 크게 높일 수 있는 소프트 프로그램(제품명 마이더스)을
선보였다.

이 프로그램은 여러단계의 반도체 제작공정을 거칠 때 마다 높아지는 제품
불량요인에 대한 데이터를 실시간으로 제공함과 동시에 각 생산공정별로
데이터베이스를 구축, 불량을 일으키는 요인을 신속히 찾아내게 해 준다.

무작위로 선정된 샘플 웨이퍼를 검사해 수율을 떨어 뜨리는 요인을 분석해
내고 부적합 판정을 받은 반도체 사진을 출력, 웨이퍼상의 위치를 파악해
치명적인 불량요인을 제거할 수 있다.

8, 12인치 등 웨이퍼 규격에 상관없이 적용 할 수 있으며 현재의 생산공정
에서 일정량의 웨이퍼를 만들 수 있는 반도체 수량예측도 가능하다고.

또 연구소에서 반도체를 설계한 후 생산단계에 들어가는 시간도 단축해
준다.

이 회사 관계자는 "현재 반도체 제조업체들은 반도체 전 생산공정을
전산화하는 작업을 진행시키고 있는데 이를 위해서는 사무실에서 생산공정을
관리하고 데이터베이스구축을 가능케 하는 마이더스 같은 프로그램이
필수적"이라고 말했다.

(02)579-7424

< 노웅 기자 woongroh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 11월 26일자 ).