한국엠에이티(대표 김동수)가 버닝방식과 흡착식의 장점을 하나로 통합한
반도체용 가스 스쿠러버(세정기.모델명 MAT505BA)를 개발, 양산에 들어갔다.

반도체생산공정에서 발생하는 폐가스를 처리하는 방식은 여러가지가 있지만
버닝. 흡착식을 하나의 기계장치안에서 가능토록 설계 한 것은 이 제품이
처음이다.

이 제품은 배출가스의 성분에 관계없이 수소 화합물을 히터를 사용하여
강제산화처리하여 안정한 상태의 산화물로 배출시켜준다.

특히 버닝방식에서 처리가 불가능했던 할로겐족의 가스들은 흡착부문에서
처리가 가능하고물(수) 스쿠러버에서는 처리가 안되는 프레온종류의 가스들도
1차 히터부분에서 열분해 시킨 후 2차 흡착부문에서 처리가 가능한 것이
특징이다.

또 유기화합물(VOC)가스들도 안전하게 처리할 수 있다.

김동수 대표는 "포토공정중에 사용되는 휘발성유기물에 대해서는
지금까지는 바로 배기덕트로 배기시켰으나 내년 1월부터 법적규제치가
적용된다"며 "이 제품은 VOC가스에 대한 대비장비로도 사용할 수 있다"고
권장했다.

(0333)659-0600

< 노웅 기자 woongroh@ >

( 한 국 경 제 신 문 1998년 12월 1일자 ).