반도체업계에 PFC 감축 비상...2010년까지 10% 줄여야

반도체 업계에 지구온난화 물질인 PFC(불소화합물)감축 비상이 걸렸다.
오는 2010년까지 PFC 배출량을 지금보다 10%정도 줄여야하기 때문이다.

8일 한국반도체산업협회에 따르면 미국 일본 유럽 한국등 세계 4대
반도체산업협회는 지난달 25,26일 미국 캘리포니아 카멜에서 제6차 세계
반도체산업협의회 준비회의를 열고 PFC의 배출량을 오는 2010년까지 10%
줄이기로 합의했다.

지난 97년 기후변화협약(도쿄의정서)에 정부가 서명한 미국 일본 유럽은
95년,한국은 97년의 배출량을 기준으로 감축키로했다.

PFC는 기후변화협약에서 정하고있는 6대 "온실가스"중 하나로 반도체
공장에서는 칩을 깎는 식각.증착(CVD)공정에서 사용되고 있다.

지난 97년에 전세계에서 사용된 PFC는 모두 2천7백60t이며 이중 11.6%인
약 3백15t을 우리업체들이 사용했다.

국내 업체들은 "카멜" 합의 이후 대책반을 구성하는등 PFC 절감 방안
마련에 적극 나서고 있으나 뚜력한 해결 방안을 찾지 못하고있다.

PFC와 관련된 원부자재를 모두 미국 일본으로부터 수입하고 있기 때문
이다.

업계는 "미국 일본업체들이 PFC절감 신자재를 개발할 경우 매우 비싼
가격을 요구할 것"이라며 국내에서도 PFC절감 자재가 개발될수 있도록
정부와 학계의 지원이 필요하다고 지적했다.

업계는 이번 합의에서 감축량이 10%로 결정됐지만 앞으로 생산량이
늘어날 경우 기존의 식각.증착 장비를 사용할수 없어지게 돼 장비구입
부담이 크게 늘어난다고 말했다.

이번에 PFC를 정부가 아닌 협회차원에서 감축키로 결의한 것은 미국
반도체산업협회의 강력한 주장 때문으로 알려졌다.

우리 정부는 도쿄의정서에 서명하지 않아 업계에 PFC를 감축토록 의무화
하지 않고있다.

박주병 기자 jbpark@

( 한 국 경 제 신 문 1999년 3월 9일자 ).