LG LCD는 TFT LCD(초박막 액정표시소자)라인의 생산성을 20%정도
높일수 있는 새로운 포토마스크 공정기술을 개발했다고 8일 밝혔다.

이 회사가 최근 전 생산라인에 적용을 끝마친 신공정기술은 얇은
유리기판위에 여러층의 막을 입혀 TFT(박막트랜지스터)를 형성시키는
공정에 소요되는 마스크 수를 기존 6~7개에서 5개로 줄일수 있는 기술이다.

LG LCD는 이 기술에 대한 특허 출원을 끝마쳤다.

LG LCD는 이 기술을 생산라인에 적용, 신규투자없이 월 1만8천장의 LCD
추가생산이 가능해져 생산성을 20%, 제품 생산수율은 3~4% 가량 향상시킬수
있게 됐다고 설명했다.

< 강현철 기자 hckang@ >

( 한 국 경 제 신 문 1999년 7월 9일자 ).