반도체 냉각장비업체인 코삼(대표 김범용)은 일본의 반도체장비 전문업체인 JSW일본제작소와 기술제휴를 맺고 반도체 제조장비인 ''애셔(Asher)''를 개발키로 했다고 2일 밝혔다.

애셔는 웨이퍼 표면에 회로를 복사하는 사진공정에 사용된 감광제의 찌꺼기를 제거하는 장비로 반도체의 생산수율을 유지하는데 핵심적인 것이다.

코삼과 JSW일본제작소는 총 16억원이 투입되는 애셔 개발비를 두 회사가 절반씩 나눠 부담키로 했다.

코삼은 애셔의 성능을 평가하는 반도체 제조공정 기술을,JSW일본제작소는 애셔에 사용되는 부품과 기계기구 및 제어기술을 제공해 내년 5월말까지 3백㎜ 웨이퍼를 겨냥한 애셔 장비를 개발키로 했다.

두 회사는 애셔를 개발한 뒤 한국과 일본은 물론 대만 시장에도 적극 진출키로 했다.

한국의 경우 애셔 장비의 60% 이상을 수입하고 있다.

이 장비의 국내 시장규모는 연간 3백50억∼5백억원 규모로 추정된다.

김범용 사장은 "애셔장비가 개발되면 오는 2002년께는 연간 50억∼1백억원 정도의 매출증대를 기대할 수 있다"고 말했다.

(031)205-5300

차병석 기자 chabs@hankyung.com