코스닥등록업체 주성엔지니어링은 5일 액체원료 공급장치로 국내특허를 취득했다고 공시를 통해 밝혔다.

주성엔지니어링 이창제 기술실장은 "액체원료 공급장치는 액체상태의 원료를 반응기로 공급할 때 기포가 생기지 않게 안정적으로 공급하는 고도의 핵심기술"이라고 설명했다.

이 실장은 "액체원료 공급장치는 MOCVD(금속화학증착장치)내에 들어가는 핵심기술로 올 매출 제품 상당부분에 사용되고 있다"며 "시스템 및 기술경쟁력으로 해외시장에서도 인정받고 있다"고 말했다.

한경닷컴 김은실기자 kes@hankyung.com