디엔에스, 삼성에 세정설비 공급
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스핀 스크러버는 반도체 제조과정에서 웨이퍼 표면에 생기는 0.1㎛급 초미세 먼지 입자를 브러시 초음파 고압세정 등의 방식으로 세정·건조하는 장비다.
이 제품은 1기가 D램급 차세대 공정에서 요구되는 화학 세정기능을 채택,순수액을 이용한 무기 세정뿐 아니라 미세 유기물 세정까지 가능한 게 특징이다.
(041)620-8100
이정호 기자 dolph@hankyung.com
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