액체원료기화장치 특허취득 소식으로 상승 마감했다.

공시를 통해 지난 98년 출원했던 액체원료기화장치 특허를 취득했다고 밝혔다.

이 장치는 기화장치의 신뢰성을 개선한 기술로 가스의 유량조절을 용이하게 수행해 MOCVD(화학적금속기상성장법)클러스터 툴(Cluster Tool)장비사업의 부가가치를 높이는데 사용된다고 회사측은 설명했다.

외국인은 85.2억원어치 순매수했다. 주가는 2% 오른 1만2,750원에 거래를 마쳤다.

한경닷컴 김은실기자 kes@hankyung.com