실리콘테크, 차세대 웨이퍼 세정장비 개발 .. 日 업체와 공동
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양사는 연말까지 12인치급 웨이퍼 세정장비를 내놓을 계획이다.
대양동양산소는 8인치급 아이스 블라스터 장비를 세계 최초로 개발한 일본의 상장회사다.
실리콘테크는 대양동양산소로부터 미세한 얼음 알갱이를 만드는 얼음발생 장치를 넘겨받아 이 장비를 개발,반도체 생산공정에 투입할 계획이다.
종전에는 브러시로 먼지 등을 털어낸 뒤 발생하는 파티클을 세척했으나 초미세 패턴에 손상을 줄 수 있어 새로운 기술이 요구돼왔다.
아이스 블라스터 장비는 미세 얼음으로 세정하기 때문에 패턴에 손상을 주지 않아 수율을 크게 높일 수 있다고 회사측은 밝혔다.
(031)320-4600
오광진 기자 kjoh@hankyung.com
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