개별반도체 업체 KEC는 25일 초정밀기계(MEMS) 기술을 비롯한 정보통신용 초정밀·초고주파 부품연구를 위해 한국과학기술원(KIST)과 함께 연구소를 설립했다고 밝혔다. MEMS(Micro electro-mechanical System)는 실리콘 등 반도체 재료에 광반응 물질을 입히고 이를 빛으로 깎아내 초소형 3차원 구조체를 만드는 초정밀 기술을 말한다. 한경닷컴 김은실기자 kes@hankyung.com