한화석유화학, CMP슬러리 연간 생산능력 증설

한화석유화학은 반도체 표면을 평탄하게 만드는 CMP슬러리(반도체 연마제)의 연간 생산능력을 기존의 2천t에서 4천t으로 증설했다.

이 설비는 충남 대덕의 한화석화 중앙연구소에 있다.

한화석유화학은 이번 설비증설로 국내 CMP슬러리 수요의 약 27%를 공급할 수 있게 됐다.

이 CMP슬러리는 연마속도와 웨이퍼 손상 면에서 기존 수입품에 비해 성능이 뛰어나고 중금속 이온의 함유량이 적어 환경친화적이라고 회사측은 설명했다.

한화석화는 오는 2003년까지 연산능력을 1만t으로 늘리고 STI용 슬러리와 메탈 슬러리 등 차세대 제품을 개발,2005년엔 세계 시장의 30%를 점유해 세계 3대 메이커로 도약한다는 목표를 세워놓고 있다.

CMP슬러리의 세계시장 규모는 지난 97년 1억달러에서 2000년 2억5천만달러로 늘어난데 이어 2005년에는 10억달러에 이를 전망이며 국내시장 규모도 올해 5백억원에서 매년 30∼40%의 높은 성장률이 예상되고 있다.

손희식 기자 hssohn@hankyung.com