다산씨앤드아이는 3일 반도체 설비용 항온항습 공기 공급방법 및 장치에 대해 대만특허를 취득했다고 공시했다. 이 제품은 열전소자 방식을 채용한 THC의 핵심기술로 반도체 제조공정에 항온 항습공기를 공급하는 기기라고 회사측은 설명했다. [한경닷컴]