LCD(액정표시장치) 및 반도체 검사장비업체인 파이컴이 한국 기업으로서는 최초로 엑시머레이저마이크로머신을 생산한다. 엑시머레이저마이크로머신은 미크론(1백만분의 1m) 이하 단위의 초정밀 가공(절단 천공 홈파기 등)이 가능한 첨단 기계이며 세계적으로 3개사 정도만이 공급하고 있다. 파이컴은 미국의 벤처기업인 JPSA사와 공동으로 엑시머레이저마이크로머신을 개발하는 데 성공했다고 10일 발표했다. 파이컴이 자동화 부문을,미국 JPSA가 레이저 관련 기술을 지원하고 3년동안 총 25억원 정도를 투자해 개발했다. 파이컴의 류병소 차장은 "짧은 파장의 자외선 레이저를 이용함으로써 0.1미크론의 가공이 가능한 마이크로머신을 개발했다"고 설명했다. 이 마이크로머신은 △반도체 △초박막LCD △플라즈마디스플레이패널(PDP) △잉크젯프린터 분사장치 △광통신소자산업 등에서 사용된다. 류 차장은 "머신 내외부에서 발생하는 모든 진동에 대해 3중의 방진 장치가 설치돼 있어 지속적으로 양질의 가공이 가능하다"고 덧붙였다. 이 머신은 반도체 LCD PDP 메이커와 가전회사 및 PCB(인쇄회로기판) 업체 등에 공급될 예정이다. 가격은 표준형 기준으로 대당 10억원 정도다. 파이컴은 코스닥 상장(등록)기업으로 올해초 상호 변경(구 평창하이테크)을 했다. (02)3282-7025 양홍모 기자 yang@hankyung.com