반도체 제조장비 전문업체인 서울일렉트론(대표 채인철.임종성)이 로봇 생산업체인 코스텍시스템과 공동으로 클러스터(Cluster)식 CVD(박막증착장비) 시장에 진출한다. 클러스터식 CVD는 반도체 제조공정 중 확산작업에 이용되는 장비로 이들 두 회사는 기존 CVD 2기의 기능을 통합한 형태의 복층 클러스터식 CVD를 개발한다는 계획이다. 복층 클러스터식 CVD는 공장(Fab)내 공간을 차지하는 면적이 기존 CVD보다 40% 가량 작고 처리 시간도 절반으로 단축된다. 이번에 개발되는 장비는 비메모리 3백㎜ 웨이퍼 제작에 활용된다. (02)2190-2500 고경봉 기자 kgb@hankyung.com